產品介紹
顯微激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。它可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移等信息），激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統實時精確定位被測點位置。
特點
1.非接觸測量，無負載；
2.激光光斑極小，微米級；
3.優越的帶寬和動態范圍；
4.高空間分辨率；
5.工作距離可選；
6.高靈活性、易安裝、易操作；
7.振動傳感器結構緊湊、性能穩定、抗外力沖擊、測量精度高；
8.配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置；
應用領域
微機電系統（MEMS）動態測試
生命科學、醫學、動物學研究，如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
計算機外設的動態測試：硬盤驅動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等；
超聲振動測量
壓電陶瓷振動測量
弦線/絲線振動特性測量
微型陀螺儀振動測量
技術參數
顯微激光測振儀LV-S01-M光學頭參數 | |
尺寸（L*W*H） | 454.8×270×643mm |
重量 | 5kg |
聚焦方式 | 手動聚焦 |
激光波長 | He-Ne laser 632.8nm |
激光功率 | ＜1mW |
工作距離 | 1mm-30mm(取決于配套物鏡倍數及景深） |
顯微激光測振儀LV-S01-M控制箱參數 | |
尺寸（L*W*H） | 450×421×149mm |
重量 | 8kg |
最大測量速度 | ±12m/s |
最大測量位移 | ±2m |
輸出電壓范圍 | ±10V |
頻率范圍 | DC～3MHz 30kHz～25MHz |
濾波設置 | 高通、低通濾波，跟蹤濾波 |
最大線性誤差 | ＜±1% |
速度分辨率 | 優于0.001μm/s/√Hz |
位移分辨率 | 優于0.31pm |
模擬輸出 | BNC接口輸出 |
數字輸出 | RJ45千兆以太網口 |
低通濾波器 | 500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解碼器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解碼器) |
跟蹤濾波器（選配） | Slow，Medium， Fast，Off |
信號電平顯示 | 反光信號強度顯示、DC電壓信號輸出（BNC接口，0…5V） |
顯示 | 帶交互式菜單引導設置的彩色屏 |
工作溫度 | +3 °C … +45 °C |
存儲溫度 | -10 °C … +65 °C |
相對濕度 | <90% |
供電電源 | 100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
防護等級 | IP54 |
*產品性能及參數可定制化，接受集成及非標定制
*產品彩頁僅做參考，不做任何評判標準
常用解碼器 | |||||
速度解碼卡 | 描述 | 帶寬 | 量程檔位 | 最大測量速度 | 最佳速度分辨率 |
VS-03 | 中頻速度解碼器 | 0-50kHz | 3 | ±500mm/s | 0.1μm/s/√Hz |
VD21 | 寬帶數字速度解碼器 | 0-3MHz | 21 | ±12m/s | 0.001μm/s/√Hz |
位移解碼卡 | 描述 | 帶寬 | 量程檔位 | 最大測量速位移 | 最佳位移分辨率 |
DD32 | 寬帶數字位移解碼器 | 0-3MHz | 32 | ±2m | 0.31pm |
DD-25M | 超寬帶數字位移解碼器 | 30kHz-25MHz | 16 | ±500μm | 0.31pm |
