產品介紹
LV-SC400M-3D三維顯微掃描激光測振儀，配備顯微掃描模塊，激光光斑可達微米量級，可實現多點顯微掃描測量，快速完成多點顯微模態振型測量，是一款全新的集多功能于一體的非接觸式振動測量儀器，也是一款可視化測量、分析理想工具。配備頻閃分析模塊，實現面內振動測量。可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動狀態（頻率、速度、位移、模態等信息），設備抗干擾性強，具有極高的分辨率，還可以進行ODS以及模態分析。
特點
●非接觸式測量技術實現微小待測物速度、位移、加速度以及振動頻率的數據測量；
●激光光斑極小，微米級；
●根據客戶需求配置不同工作距離的物鏡選擇；
●配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置；
●優越的帶寬和動態范圍；
●超高光學靈敏度，超低噪聲；
●高空間分辨率；
●配備顯微掃描模塊，快速完成多點顯微模態振型測量；
●配備頻閃振動分析模塊，實現面內振動測量
應用領域
技術參數
面外振動測量 | |
激光波長 | He-Ne laser 632.8nm |
激光功率 | ＜2mW |
機械接口 | M5螺紋(固定在特定支架上) |
掃描角度(VxH) | 4°x4° |
掃描參數 | 角分辨率<0.001°，角度穩定性<0.001°/h，最大30點/秒 |
最大測量速度 | ±12m/s |
最大測量位移 | ±50mm |
頻率范圍 | DC～3MHz 30kHz～25MHz（選配高頻解碼器) |
濾波設置 | 高通、低通濾波，跟蹤濾波 |
最大誤差 | ＜±1% |
速度分辨率 | 優于0.001μm/s/√Hz |
位移分辨率 | 優于0.31pm |
模擬輸出 | BNC接口輸出 |
數字輸出 | RJ45千兆以太網口 |
低通濾波器 | 500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解碼器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解碼器) |
跟蹤濾波器（選配） | Slow，Medium， Fast，Off |
信號電平顯示 | 反光信號強度顯示、DC電壓信號輸出（BNC接口，0…5V） |
顯示 | 帶交互式菜單引導設置的彩色屏 |
工作溫度 | +3 °C … +45 °C |
存儲溫度 | -10 °C … +65 °C |
相對濕度 | <90% |
供電電源 | 100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
防護等級 | IP54 |
面內振動測量 | |
頻率測量范圍 | 1Hz-2.5MHz |
最大速度 | 10 m/s |
位移分辨率 | 5 nm |
時間分辨率 | 100ns (頻閃曝光時間) |
頻閃最大間隔時間 | ±40 ns |
*產品性能及參數可定制化，接受集成及非標定制
*產品彩頁僅做參考，不做任何評判標準
| 物鏡型號 | 倍率 | 數值孔徑（NA） | 測量距離（WD） | 焦點直徑 | 視場（長*寬） |
MPlanFL5X BD | 5X | 0.15 | 13.5mm | 4.8μm | 1.50*1.10mm |
MPlanFL10X BD | 10X | 0.3 | 9mm | 2.9μm | 0.74*0.55mm |
MPlanFL20X BD | 20X | 0.45 | 3.4mm | 1.5μm | 0.37*0.28mm |
LMPlan50X | 50X | 0.55 | 7.8mm | 1.1μm | 0.15*0.10mm |
注：可根據客戶需求配置其他倍率長工作距物鏡
常用解碼器 | |||||
速度解碼器 | 描述 | 頻率范圍 | 量程 | 速度范圍 | 速度分辨率 |
VSM-03 | 中頻速度解碼器 | 0-50kHz | 3 | ±500mm/s | 0.1μm/s/√Hz |
VDM-21 | 寬帶數字速度解碼器 | 0-3MHz | 21 | ±12m/s | 0.001μm/s/√Hz |
位移解碼器 | 描述 | 帶寬 | 量程 | 位移范圍 | 位移分辨率 |
DDM-32 | 寬帶數字位移解碼器 | 0-3MHz | 32 | ±2m | 0.31pm |
DDM-25M | 超寬帶數字位移解碼器 | 30kHz-25MHz | 16 | ±500μm | 0.31pm |
